日本進口SMC平穩(wěn)通氣閥

平穩(wěn)通氣閥 XVD 
●閥與針閥一體構造，所占空間僅為原型號的1/4
●(閥芯)座部分使用間隙隔膜，微粒大幅削減
●初期給氣和主給氣的流量可調

日本進口SMC平穩(wěn)通氣閥

● 省空間
閥和針閥一體化構造，配管
空間減1/4(與原來比)。
● 閥座部上采用金屬膜片，
故微粒大幅減少。
● 初期給氣、主給氣都可流
量調整。
孔口徑(ø3)
平穩(wěn)通氣閥
接頭尺寸(1/4)
接頭種類
V
S
VCR®用
Swagelok®用
XVD 2 V — 02
讓真空室返回大氣時，全量的供給壓力(潔凈空氣/N2)一起導入室內會卷起微
粒。為防止這個，初期給氣慢慢導入，到設定壓力后，切換主閥回路再全量供給。

直動式電磁閥
原理：通電時，電磁線圈產(chǎn)生電磁力把關閉件從閥座上提起，閥門打開；斷電時，電磁力消失，彈簧把關閉件壓在閥座上，閥門關閉。 
特點：在真空、負壓、零壓時能正常工作，但通徑一般不超過25mm。
分布直動式電磁閥
原理： 它是一種直動和先導式相結合的原理，當入口與出口沒有壓差時，通電后，電磁力直接把先導小閥和主閥關閉件依次向上提起，閥門打開。當入口與出口達到啟動壓差時，通電后，電磁力先導小閥，主閥下腔壓力上升，上腔壓力下降，從而利用壓差把主閥向上推開；斷電時，先導閥利用彈簧力或介質壓力推動關閉件，向下移動，使閥門關閉。
特點： 在零壓差或真空、高壓時亦能可靠動作，但功率較大，要求必須水平安裝。
先導式電磁閥
原理：通電時，電磁力把先導孔打開，上腔室壓力迅速下降，在關閉件周圍形成上低下高的壓差，流體壓力推動關閉件向上移動，閥門打開；斷電時，彈簧力把先導孔關閉，入口壓力通過旁通孔迅速腔室在關閥件周圍形成下低上高的壓差，流體壓力推動關閉件向下移動，關閉閥門。
特點： 流體壓力范圍上限較高，可任意安裝(需定制)但必須滿足流體壓差條件。